2007年12月19日，中科院微電子所微電子設(shè)備技術(shù)研究室成立，夏洋研究員擔(dān)任研究室主任。研究室的主要研究方向包括新型集成電路制造與測(cè)試裝備、新型太陽能電池制造技術(shù)和裝備、高效率LED(發(fā)光二極管)制造技術(shù)和裝備、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))加工技術(shù)和裝備及關(guān)鍵的射頻功率源系統(tǒng)技術(shù)。
憑借近30年的技術(shù)積累以及全體人員的努力，經(jīng)過近5年時(shí)間的發(fā)展，研究室的研究成果占領(lǐng)國內(nèi)IC(集成電路)領(lǐng)域新原理設(shè)備制高點(diǎn)，在國際上與現(xiàn)有技術(shù)生產(chǎn)廠商形成競(jìng)爭(zhēng)態(tài)勢(shì)，設(shè)備主要包括等離子體浸沒注入機(jī)、原子層沉積設(shè)備、光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、射頻電源等，當(dāng)前研究室的產(chǎn)品已廣泛用于國際國內(nèi)涉及微電子、光電子、MEMS等領(lǐng)域的企業(yè)、高校及研究機(jī)構(gòu)。
近日，儀器信息網(wǎng)編輯特別采訪了夏洋主任，請(qǐng)他談了談研究室在儀器設(shè)備研制、產(chǎn)業(yè)化方面的經(jīng)驗(yàn)及我國科學(xué)儀器研制的政策支持情況。
在儀器研制方面都有哪些經(jīng)驗(yàn)?
“5年前，當(dāng)時(shí)微電子研究所里有三四個(gè)儀器研究團(tuán)隊(duì)，都是一個(gè)研究員帶幾個(gè)助手，大家各自為戰(zhàn)，這樣力量比較分散，于是我向所里建議把這些團(tuán)隊(duì)合并起來，所里對(duì)我們的建議很支持，希望我們能將微電子設(shè)備技術(shù)的研究做大、做強(qiáng)，在2007年末正式成立微電子設(shè)備技術(shù)研究室”，夏洋主任介紹說。
(1)進(jìn)行團(tuán)隊(duì)建設(shè)，堅(jiān)持做好一件事
“研究室成立后所里進(jìn)行儀器研制的各項(xiàng)資源就集中起來，之后我們又購置研制儀器所需的各項(xiàng)裝備、招聘所需的人才，這樣我們的研究平臺(tái)就形成一定的規(guī)模。起初我們只有30人左右，當(dāng)時(shí)也不好招人，沒人愿意來，缺乏相關(guān)專業(yè)的人才，現(xiàn)在隨著我們科研能力的提升，以及國家對(duì)儀器行業(yè)投入的加大和重視，來自海外和國內(nèi)的求職者都特別多，至今已形成了約150人的團(tuán)隊(duì)。”
“在我們的團(tuán)隊(duì)中不僅有4名國家‘千人計(jì)劃’人才，七八名‘百人計(jì)劃’人才，還有十幾名退休返聘人員，他們年齡最大的有70多歲。在管理機(jī)制方面，我們也不會(huì)墨守成規(guī)，在我們的團(tuán)隊(duì)中有人想創(chuàng)業(yè)，我們也允許他們一邊做科研，一邊組織團(tuán)隊(duì)成立公司。我們堅(jiān)持唯才是用，只要是有用的人才，我們不會(huì)去限制他們發(fā)揮自己的才能，而是為他們提供機(jī)會(huì)更好地展示自己的能力。”
(2)科研和生產(chǎn)兩條腿走路，在資金和技術(shù)方面相互支撐
資金短缺也是儀器研制當(dāng)中常常面臨的一個(gè)問題，很多項(xiàng)目研制出一臺(tái)樣機(jī)之后，由于沒有后續(xù)資金支持，進(jìn)行進(jìn)一步的商品化開發(fā)，所以就被擱在實(shí)驗(yàn)室里，很難對(duì)國外儀器形成競(jìng)爭(zhēng)，對(duì)我國的科研開發(fā)也難談?wù)嬲呢暙I(xiàn)。
夏洋主任介紹說：“研究室現(xiàn)在是科研和生產(chǎn)兩條腿走路，這兩部分工作在資金和技術(shù)上相互支撐。我們一邊進(jìn)行儀器研制，一邊生產(chǎn)儀器進(jìn)行銷售，同時(shí)我們和企業(yè)也有一些合作項(xiàng)目。在銷售方面我們現(xiàn)在還沒有開始做太多的工作，客戶主要集中在科研院所，每年銷售收入在1000萬至2000萬元。”
“現(xiàn)在我們研制第一臺(tái)樣機(jī)基本都是依靠國家資金的支持，第二臺(tái)樣機(jī)的研制經(jīng)費(fèi)就得靠自己來解決，做到第三臺(tái)樣機(jī)，我們就爭(zhēng)取訂貨銷售出去。目前我們已經(jīng)形成了這樣一個(gè)良好的工作局面。”
(3)和企業(yè)合作是進(jìn)行儀器研發(fā)的一個(gè)非常重要的方向
“另外，儀器研發(fā)和企業(yè)合作是一個(gè)非常重要的方向，關(guān)起門來搞科研容易與社會(huì)需求脫節(jié)。而且儀器研制中硬件技術(shù)是一方面，方便用戶操作使用，以及更好地解決實(shí)際應(yīng)用問題，這是另一方面，之前已經(jīng)有不少企業(yè)和我們合作，他們的思路和看問題的角度與我們不一樣，對(duì)我們來說幫助很大”，夏洋主任談到。
“同企業(yè)的合作中存在的一個(gè)主要問題是，對(duì)于市場(chǎng)的變化，企業(yè)更多的是關(guān)注眼前，‘看單下菜’，難以做出長(zhǎng)遠(yuǎn)的布局，這樣在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中，很難搶占先機(jī)。所以在合作中，我們需要更多的溝通和理解。”
“同時(shí)和企業(yè)合作，信任度以及利益分配機(jī)制也是一個(gè)的問題。解決這一問題的主要方式是雙方在合作中要有誠意。一般在合作中，我們希望企業(yè)人員參與研發(fā)過程，并將相關(guān)的技術(shù)教給他們，同時(shí)項(xiàng)目交接后我們也派出團(tuán)隊(duì)去企業(yè)當(dāng)中，進(jìn)行后續(xù)跟進(jìn)，幫助企業(yè)解決問題，這樣既幫助企業(yè)培養(yǎng)人才，解決問題，同時(shí)對(duì)于防止我們自己的人才流失也很有幫助。在資金方面，對(duì)于企業(yè)來說他們會(huì)擔(dān)心投資風(fēng)險(xiǎn)，所以目前我們的合作方式一般是先直接收取一部分資金用于研發(fā)，另外一部分資金從項(xiàng)目投產(chǎn)后的長(zhǎng)遠(yuǎn)收益中獲得。”
(4)未來瞄準(zhǔn)教學(xué)儀器市場(chǎng)
對(duì)于研究室未來的研究規(guī)劃，夏洋主任表示，“我們發(fā)現(xiàn)隨著儀器自動(dòng)化、智能化的提升，以及昂貴的價(jià)格，使學(xué)生的動(dòng)手能力受到了很大的限制。所以我們希望能做一些教學(xué)儀器，這類儀器要很好的展示儀器原理和設(shè)計(jì)，操作性強(qiáng)，要能夠更好地互動(dòng)。進(jìn)口儀器現(xiàn)在還沒有關(guān)注這一領(lǐng)域，而且我們做這類儀器有成本優(yōu)勢(shì)，所以市場(chǎng)前景還是比較樂觀。”
國家對(duì)科學(xué)儀器研制的資金支持情況?
談到近年來國家對(duì)于科學(xué)儀器研制的資金支持情況，夏洋主任說到：“我國的科學(xué)儀器行業(yè)的發(fā)展從建國到改革開放逐漸發(fā)展到一個(gè)頂峰，后來逐漸穩(wěn)定下來，從上個(gè)世紀(jì)九十年代開始，國家逐漸重視科學(xué)儀器的發(fā)展，現(xiàn)在經(jīng)過多年的發(fā)展正在逐漸達(dá)到另一個(gè)峰值。”
“1993年，在國家財(cái)政依然十分緊張的情況下，中科院就設(shè)立了儀器設(shè)備的專項(xiàng)資金。至2000年，共支持研制和改造科學(xué)儀器科研項(xiàng)目總數(shù)達(dá)400余項(xiàng)，支持經(jīng)費(fèi)總額約為1.5億元。截止到2006年底，中科院科學(xué)儀器自主研制項(xiàng)目從最初的每年8項(xiàng)增長(zhǎng)到每年40多項(xiàng)，累計(jì)總投入約3.7億元，平均項(xiàng)目支持強(qiáng)度超過200萬元。”
“國家自然科學(xué)基金委(基金委)于1998年設(shè)立了科學(xué)儀器基礎(chǔ)研究專項(xiàng)，當(dāng)年一共資助了5個(gè)項(xiàng)目，總資助經(jīng)費(fèi)400萬元。而到2011年，基金委科學(xué)儀器基礎(chǔ)研究專項(xiàng)共資助55項(xiàng)，金額1.5億元，并啟動(dòng)了國家重大科研儀器設(shè)備研制專項(xiàng)，首批重大科研儀器設(shè)備研制專項(xiàng)資助9項(xiàng)，金額5.7億元。”
“另外，科技部、財(cái)政部2011年首次啟動(dòng)‘國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)’。重點(diǎn)支持具有市場(chǎng)推廣前景的重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)，每年的支持金額達(dá)到數(shù)十億元。”
科學(xué)儀器研制還需要哪些方面的支持?
國家對(duì)于科學(xué)儀器研制的資金支持，可以說是達(dá)到了前所未有的高度，那么在項(xiàng)目執(zhí)行當(dāng)中，還需要注意哪些問題呢?夏洋主任也談了幾點(diǎn)自己的看法。
(1)選擇具有研發(fā)實(shí)力的企業(yè)給予支持
“現(xiàn)在我國提倡技術(shù)創(chuàng)新應(yīng)以‘企業(yè)創(chuàng)新為主體’，國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)也優(yōu)先支持科學(xué)儀器設(shè)備企業(yè)作為實(shí)施主體的項(xiàng)目。創(chuàng)新是一個(gè)研發(fā)的過程，需要企業(yè)有配套的研發(fā)人員及研發(fā)平臺(tái)。中國的企業(yè)大部分沒有成型的研發(fā)隊(duì)伍，企業(yè)有生產(chǎn)能力，但研發(fā)能力不一定強(qiáng)，所以要確保項(xiàng)目的順利完成，一定要對(duì)企業(yè)的綜合研發(fā)實(shí)力，以及進(jìn)行某類具體儀器研發(fā)的技術(shù)積累進(jìn)行考核。”
(2)國家整體政策要配套
“另外，國家整體政策不配套也是一個(gè)問題，比如按照《科學(xué)研究和教學(xué)用品免征進(jìn)口稅收規(guī)定》，我們現(xiàn)在進(jìn)口科研儀器整機(jī)是免稅的，但進(jìn)口零部件不免稅，所以研發(fā)儀器的成本比整機(jī)要貴很多，這樣是不利于促進(jìn)科研院所的老師們進(jìn)行儀器研制的。”
(3)進(jìn)行科學(xué)儀器研制平臺(tái)建設(shè)
“此外，我認(rèn)為儀器研發(fā)一定要進(jìn)行團(tuán)隊(duì)或平臺(tái)建設(shè)才行，一方面儀器研發(fā)是多種技術(shù)的融合，需要的綜合知識(shí)特別強(qiáng)，如物理、化學(xué)、材料、機(jī)械設(shè)計(jì)、自動(dòng)控制、軟件等，所以一定要注意合作和團(tuán)隊(duì)建設(shè)，一個(gè)人單獨(dú)做很難完成。”
“另外儀器的研制需要一代一代的堅(jiān)持研究，在儀器研制過程當(dāng)中，搭建出來的第一臺(tái)儀器只要自己能用就已經(jīng)很了不起;然后再通過不斷改進(jìn)，推出第二臺(tái)樣機(jī)，如果第三臺(tái)能做成商業(yè)機(jī)型就已經(jīng)很順利，從開始研制到最后實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，整個(gè)過程大概得三五年時(shí)間，甚至更長(zhǎng)才行。現(xiàn)在許多老師，在儀器研制方面有好的想法，但是帶著一批學(xué)生做了3年之后，學(xué)生畢業(yè)了，課題經(jīng)費(fèi)也沒有了，這個(gè)項(xiàng)目就結(jié)束了，沒有持續(xù)跟進(jìn)。”
“研制儀器需要不斷的堅(jiān)持，國外的許多儀器企業(yè)都有上百年的歷史，其實(shí)從原始創(chuàng)新到實(shí)現(xiàn)商業(yè)化產(chǎn)品，一般也得10-20年的時(shí)間，然后再通過一代一代的積累和更新，儀器的性能越來越好。所以如果通過買儀器來做研究，我們?cè)诩夹g(shù)起步上至少比別人落后10-20年，很難實(shí)現(xiàn)超越。”
“因此國家或許可以設(shè)置專門進(jìn)行儀器研發(fā)的重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，這樣有一個(gè)固定的人員和研發(fā)平臺(tái)，希望通過持續(xù)的研究能實(shí)現(xiàn)從原始創(chuàng)新，到研制出可用于科學(xué)研究的儀器，最后到實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)的儀器這一流程，而不是半途而廢，這樣我們的科學(xué)儀器事業(yè)才能逐漸發(fā)展起來。”
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